InGaAs相较EMMI有什么不同呢？ 侦测时间短：InGaAs相机侦测缺陷的时间比EMMI短5~10倍，这大大提高了失效分析的效率。侦测微小电流及先进制程缺陷：InGaAs相机能够侦测到微小电流以及...
